镀膜机操作流程指引

 镀膜机操作流程指引注意篇：  

1.清洗前，看片子是否短路，是否大小与样品托合适，蒸镀时放样品托的架子升最高，且旋转。  

2.打开电流开关，及时打开ABC舟中一个，打开束源炉，及时打开其中一个启动A、B等。  

3.掺杂材料用量覆盖舟底即可。 

镀膜机操作流程指引操作步骤：  

1、打开总开关，包括冷却水开关和机器开关。 

2、打开镀膜机总开关，样品旋转开关，升降开关按钮。 

3、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下。 

4、蒸镀室、预处理室放气。  

5、打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向关，逆时针方向开），推拉杆推至大真空室中，将样品放到推拉杆上，将推拉杆拉回至预处理中。关闭闸板阀（顺时关闭，逆时针开）  6、打开快门控制电源，打开快门一，更换钨丝（每做一次实验更换一次），将铝丝挂在钨丝上（5个，挂于弯折处），检查蒸镀所需材料。 

7、将掩膜版放置于掩膜版架上。  

8、打开机械A、机械B泵。打开四个真空计，关闭放气阀。 

9、基片预处理（打开角阀）：当处理室真空度达到4.0E1  (4.0×10)Pa时关闭预角阀，打开大真空室角阀，再打开紫外轰击电源（直流溅射电源），调节电流0.025-0.030A。轰击10-15分钟（等预处理室与蒸镀

室气压平衡，打开闸板）。  

10、插入样品托：再次打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），将样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台（注意样品托挡板位置）与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。  

11、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。  

12、当大真空室的压强为1.2E1的时候，关闭角阀，打开闸板阀。 

13、关闭机械泵A，升起样品台。  

14、打开分子泵。抽到6.0-6.5E-4（大概需要两个小时）。  

15、蒸镀过程：打开快门总开关，晶振开关（F1是清零，F5是开始或停止）。  

16、打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。  

17、关闭分子泵阀门，放气（真空室顶部放气按钮）。打开真空室，取出样品。  

18、关闭真空室，待分子泵数字为零时关闭分子泵后关闭机械泵B，打开机械泵A的阀门，打开机械泵A抽低真空。  

如果长时间不用时一定要关闭循环水冰柜电源，以防冻裂。